Chi tiết sản phẩm
Thiết bị đo và điều khiển lưu lượng 5850EM Brooks instrument
5850EM Brooks instrument Việt Nam
Brooks instrument Việt Nam
5850EM Series Metal Sealed Thermal Mass Flow Controllers Việt Nam
Proven long-term stability. Ultra-pure performance for high pressure applications.
Models 5850EM / 5851EM
Tính năng, đặc điểm
-
Độ ổn định dài hạn bằng không <0,2% toàn thang mỗi năm
-
<3 giây thời gian giải quyết để thay đổi lệnh với độ vọt lố / không đáng kể
-
Phạm vi lưu lượng rộng – từ 3 sccm đến 30.000 slpm
-
Xếp hạng áp suất cao – lên tới 1.500 psi
-
Tùy chọn hoàn thiện quy trình nâng cao bên trong – 5 Hay inch Ra avg
-
Cảm biến lưu lượng có thể tháo rời
-
Không nhạy cảm với thái độ gắn kết
-
Tương thích cơ học và điện với các bộ điều khiển lưu lượng lớn khác
-
Chức năng “van tắt” và thanh lọc tương thích với TTL
Lợi ích
-
Đường dẫn dòng chảy hoàn toàn bằng kim loại giúp tăng cường độ tinh khiết của khí và giảm rò rỉ
-
Độ ổn định và độ chính xác lâu dài trong toàn bộ quá trình và phạm vi ứng dụng
-
Lợi tức đầu tư tuyệt vời do hiệu suất đáng tin cậy
-
Cảm biến lưu lượng có thể tháo rời giúp loại bỏ sự cần thiết phải theo dõi và điều chỉnh lại áp suất khí liên tục
-
Dễ dàng cài đặt và phục vụ với đầu vào / đầu ra tương tự
Các ứng dụng
-
Sợi quang
-
LED / MOCVD
-
Chất bán dẫn
-
Hệ mặt trời
|
5850EM
|
5851EM
|
|
|
Khác biệt
|
|
|
|
Phạm vi dòng chảy (Công suất toàn thang)
|
0,06 sccm – 30.000 sccm
|
Nitơ 10 – 100 slpm
|
|
Bề mặt hoàn thiện
|
5 Ra kết thúc nội bộ (tùy chọn)
Bề mặt ướt điện tử (tùy chọn)
|
Bề mặt ướt điện tử (tùy chọn)
Quá trình nâng cao (5 Ra avg.) Hoàn thiện bề mặt bên trong (tùy chọn)
Thép không gỉ VAR 316L có độ tinh khiết cao
|
|
Độ chính xác
|
1% FS bao gồm tuyến tính
1,5% FS bao gồm tuyến tính (> 20 slpm)
|
1% FS bao gồm tuyến tính
|
|
Lặp lại
|
Tỷ lệ 0,25%
|
Tỷ lệ 0,2%
|
|
Thời gian đáp ứng
|
Van thường đóng
<3 giây
|
Van thường đóng
<3 giây
|
|
Cấu hình đa khí & phạm vi
|
Không có
|
Không có
|
|
Không nhạy cảm thoáng qua áp lực
|
0,008% mỗi psi Nitơ
|
0,03% mỗi psi lên tới 150 psig
|
|
Khả năng chẩn đoán
|
Sức khỏe MFC, tình trạng mạng
|
Sức khỏe MFC, tình trạng mạng
|
|
Truyền thông tương tự
|
4-20 mA
0-5 Vdc
|
4-20 mA
0-5 Vdc
|
|
Truyền thông kỹ thuật số
|
Không có
|
Hồ sơ
Giao thức S RS485
Giao thức L RS485
DeviceNet ™
|
Xem thêm các sản phẩm khác của Hãng Brooks tại đây



Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.