Chi tiết sản phẩm
Thiết bị đo và điều chỉnh lưu lượng hơi nước 5850EMH Brooks instrument Việt nam
5850EMH Brooks instrument Việt nam
Brooks instrument Việt nam
5850EMH Series High Temperature Mass Flow Controllers Việt nam
Proven long-term stability. Ultra-pure performance for high temperature applications.
Models 5850EMH / 5851EMH
Tính năng, đặc điểm
-
Tính toàn vẹn rò rỉ cao (dưới 10-11 Pa.m3 / s (10-10 atm.cc/s) He)
-
Phạm vi dòng chảy rộng (0,003 – 100 slpm)
-
Thép không gỉ VAR 316L có độ tinh khiết cao
-
Không có hạt
-
Cổng kiểm tra rò rỉ helium
-
Van thường đóng (van thường mở tùy chọn)
-
Ghi đè van kích hoạt bằng điện
-
Cắt dòng lệnh thấp
-
Van van tương thích với chức năng TTL
Lợi ích
-
Nền tảng sản phẩm ổn định, đã được chứng minh
-
Khả năng lưu lượng cao lên tới 100 lpm ( tương đương N 2 )
-
Đường dẫn dòng chảy hoàn toàn bằng kim loại giúp tăng cường độ tinh khiết của khí và giảm rò rỉ
-
Dễ dàng cài đặt và phục vụ với đầu vào / đầu ra tương tự
Các ứng dụng
-
Sản xuất sợi quang – MCVD, OVD, AVD
-
Kiểm soát lưu lượng hơi nước
|
|
5850EMH
|
5851EMH
|
|
Phạm vi dòng chảy (Công suất toàn thang)
|
3 sccm – 30 slm ( tương đương N 2 )
|
10 – 100 slm ( tương đương N 2 )
|
|
Độ chính xác
|
± 1% FS
|
± 1% FS
|
|
Lặp lại
|
<± 0,25% SP
|
<± 0,25% SP
|
|
Thời gian đáp ứng
|
3 giây trong vòng 2% SP (mỗi SEMI E17-91)
|
3 giây trong vòng 2% SP (mỗi SEMI E17-91)
|
|
Truyền thông tương tự
|
0-5 Vdc
|
0-5 Vdc
|
Xem thêm các sản phẩm khác của Hãng Brooks tại đây




Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.