Chi tiết sản phẩm
Bộ đo và điều chỉnh lưu lượng khí ga và hơi nước 9861 Brooksinstrument Việt nam
9861 Brooksinstrument Việt nam
9861 Series High Temperature Mass Flow Controllers & Meters Việt nam
Improve high temperature flow control accuracy and efficiency.
Models 9861
Tính năng, đặc điểm
-
Cảm biến đo lưu lượng IsoSensor ™ được cấp bằng sáng chế siêu ổn định
-
Đường chảy tinh khiết cực cao
-
Thiết bị điện tử từ xa đạt tiêu chuẩn với hai đầu nối điện analog
-
Kiến trúc đo lường và điều khiển kỹ thuật số
Lợi ích
-
Cảm biến độ ổn định cao mang lại thời gian hoạt động vượt trội, giảm bảo trì và giảm tổng chi phí sở hữu
-
Đường dẫn thấm ướt hoàn toàn bằng kim loại đảm bảo tính toàn vẹn và tinh khiết của khí / hơi
-
Bao gồm 20 cạnh thẻ pin và đầu nối 9 hoặc 15 pin cho D tiêu chuẩn cho phép tiêu chuẩn hóa và giảm hàng tồn kho
-
Tăng cường độ chính xác và kiểm soát quá trình
Các ứng dụng
-
Sản xuất sợi quang – MCVD
-
Quy trình chế tạo thiết bị bán dẫn silicon
|
|
9861
|
|
Phạm vi dòng chảy (Công suất toàn thang)
|
3 sccm – 10 slm ( tương đương N 2 )
|
|
Bề mặt hoàn thiện
|
4 inch inch R a
|
|
Độ chính xác
|
± 1% SP @ 35 – 100% FS
± 0,35% FS @ <35% FS
|
|
Lặp lại
|
<± 0,15% FS
|
|
Thời gian đáp ứng
|
≤ 1 giây trong khoảng 2% của SP (mỗi E17-91 BÁN)
|
|
Truyền thông tương tự
|
0-5 Vdc
|
|
Truyền thông kỹ thuật số
|
Giao thức RS485L
|
Xem thêm các sản phẩm khác của Hãng Brooks tại đây





Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.